手持式臭氧檢測儀的工作原理時通過空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統時，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌除器再進入吸收池，此時臭氧對254nm波長的紫外光有特征吸收。當零空氣樣品通過吸收池時被光度檢測器測定的光強度為10；那么含臭氧的空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為I。如此每經過一個循環周期，儀器的數據處理系統根據朗伯-比爾定律求出臭的濃度。手持式臭氧檢測儀保養的詳細步驟：

 

　　一、外表擦拭步驟：先用干細棉布或擦拭紙擦拭儀器外表，以擦拭其灰塵或油污等，小心注意其儀器外表勿受傷。再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭儀器外表，尤其金屬及非金屬表面

 

　　二、顯示屏擦拭步驟：

 

　　先用拭鏡紙輕輕擦拭鏡面表面，勿用力以免傷及鏡面，再用棉花棒沾工業用酒精，輕輕擦拭鏡面表面，并需等酒精揮發后，再裝回去，鏡面擦拭可區分成校正玻璃片及鏡頭內透鏡組，由于灰塵粒子會造成成像的黑點，鏡面擦拭至為重要，裝置后需重新借著影像觀察擦拭結果。

 

　　三、轉動部分擦拭步驟：

 

　　先用干細棉布或擦拭紙擦拭磨擦表面，以擦拭其灰塵或油污等。

 

　　也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。

 

　　必要時，可再用干凈細干棉布沾上工業用酒精或高級潤滑油，擦拭磨擦表面。